洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量，在GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间，洁净工作台检测服务，每次取样量应大于或等于1L，洁净工作台检测设备，对于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的净化车间，洁净工作台检测，每次取样量应大于或等于0.1L。
对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。
在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的小采样量，但在实际工作中，我们应在保证小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。
洁净室检测检测内容
竣工验收GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定，竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。
综合性能评定综合性能评定的检测工作必须由有经验的第三方承担，而且所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行，而且在检测之前，必须对洁净室及净化空调系统再次进行的清扫。
洁净室（区）性能测试和认证洁净室（区）投入运行后，为了检测其综合性能是否可以始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求，需对洁净室（区)进行监测和定期性能测试认证，洁净工作台检测报告，测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率，计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之，每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
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