洁净室(区)空气洁净度检测等级
(1)空气洁净度100 级的洁净室(区)应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样,除颤仪检测价格,当大于等于5μm 尘粒多次出现时,可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65 %
(2)洁净室(区)应根据生产要求提供照度,除颤仪检测报价,并应符合下列规定:
(3)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
(4)非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)。
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。
洁净室检测测定
可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,除颤仪检测,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,除颤仪检测哪家好,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。
对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定。而综合性能的评价是指在动态条件下测定,是由建设单位负责,设计、施工单位配合。
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