洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后，一头与大气连通，X射线机检测，另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况，U 型压力计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，X射线机检测服务，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的度较高。所以与 U 型压力计比较，斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示，X射线机检测哪家好，斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性，它在 a 角较小时，微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化，都能从 l 值的变化灵敏的辨认，因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值，如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化，测定一个空间与其周围环境间的压差值，并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于，它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差；不同之处在于它不是依据机械方式，而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
洁净室检测对空气温度检测仪器的要求
1.玻璃温度计，X射线机检测报告，玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图 所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀，从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度高等特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。
2.数字温度计，数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计，也可以选择传感器和显示仪表来集成使用更加方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。
工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定
测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析，还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑
回风口的测点布置：在有代表性的回风口处.
走廊的测点布置：走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.
室外的测点布置：室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.
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