洁净室检测静电检测
一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，洁净室检测标准，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室检测围护结构等表面的维护与清洁
首先是洁净室的墙面、地面、顶棚等维护结构，在设计、施工中要选用表面光洁、质地坚实、不产尘、少积尘、耐清洗等符合质量要求的材料。要求它们在频繁地擦拭、洗涤等清洁、消毒的条件下，表面不变粗糙或多孔，否则会存留微粒和化学污染物，或容易导致微生物污染。
在设计、施工中应保证洁净室内的墙面、地面、顶棚、门、空气扩散板和地漏等都是易于进行表面清洁的。而且还应把墙面、地面、顶棚等的接缝处的细节考虑在内，特别要避免出现有可能积留水分的地方或表面。
洁净室各类检测
1．温湿度检验:①使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2M，洁净室检测公司，用温湿度计于测试，洁净室检测，约每9M2测定一点，每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2．噪音检验:距地板约1.2M，用噪音计于测测试，测数以每9M为一点，每点测定时间5秒。
3．不管气流为层流．乱流或混合式流，于工程完成后之状（ASBUILT)各项目大部分均须列入检验，但在作业状态则有所选择。
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