洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。
洁净室检测静电检测
一、测试目的，离心机价格，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，离心机哪家好，就会变成非常难处理的问题，离心机报告，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，离心机，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室气流流向检测
一、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
二、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线。
2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。
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