洁净室的气流组织
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。
洁净室检测测试
1．洁净室内面积在15M以下之场合，测在1"及2"位置，测定的点数:2。
2．洁净室内面积在15M以上 100M以下时，测位置在1，2，3，洁净度标准，4，5个点位置，测数:5。
3．洁净室地板面积超过100M2时，洁净度设备，除以上之5点外，每增加10OM2须外加4点或将全部区域以3×3MP单位分割成数区域，洁净度报价，每区各取一测试点。
4．空气取样口须垂直向上，洁净度，取样测试高度一般约在1.2M~1.25M 之间，相当于工作桌之高度或作业高度。
洁净室检测仪器的选用
尽管对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量，并且可以直接显示瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量，使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
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